等離子體指部分或完全電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和完全抵消,宏觀上呈現中性電。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質,它廣泛存在于宇宙中,常被視為是除去固、液、氣外,物質存在的第四態。
應用領域介紹
等離子設備主要適用于各種材料的表面改性處理:表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學氣相沉積:
1.表面改性
紙張粘合,塑料粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理
2.表面活化
生物材料的表面修飾,印刷涂布或粘接前的表面處理,如紡織品的表面處理
3.表面刻蝕
硅的微細加工,玻璃等太陽能領域的表面刻蝕處理,醫療器皿表面刻蝕處理
4.表面接枝
材料表面特定基團的產生和表面活化的固定
5.表面沉積
疏水性或親水性層的等離子體聚合沉積
廣泛應用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領域,是企業、科研院所進行等離子體表面處理的理想設備。