熱損傷是一種廣泛應用和研究的有機廢氣處理方法，特別是對于低濃度有機廢氣。有機化合物的熱損傷可分為直接火焰燃燒和催化燃燒。直接火焰燃燒是一種有機物在氣流中直接燃燒和輔助燃料燃燒的方法。在大多數情況下，有機物濃度低，不足以在沒有輔助燃料的情況下燃燒。在適當的溫度和保留時間條件下，直接火焰燃燒可達到99%的熱處理效率。

催化燃燒是一種在氣流中加熱有機物的方法。在催化床層的作用下，加速有機物的化學反應（或破壞效率的方法）。催化劑的存在使有機物的保留時間和溫度低于直接燃燒法。催化劑在催化燃燒系統中起著重要作用。用于有機廢氣凈化的催化劑主要是金屬和金屬鹽，包括貴金屬和非貴金屬。目前使用的金屬催化劑主要是PT、PD，技術成熟，催化活性高，但價格相對昂貴。此外，在處理鹵素有機物、N、S、P等元素時，有機物容易氧化，使催化劑失活。非金屬催化劑包括鈷、稀土等過渡元素。近年來，國內外催化劑的開發越來越多，主要集中在非貴金屬催化劑上，并取得了V2O5+MOX（M：過渡金屬）+貴金屬廢氣處理。

由于雜質經常出現在有機廢氣中，很容易引起催化劑中毒，導致催化劑中毒（抑制劑主要包括磷、鉛、髕砷、錫、汞、亞鐵離子鋅、鹵素等。催化劑載體節省催化劑，增加催化劑的有效面積，使催化劑具有一定的機械強度，減少燒結，提高催化活性和穩定性。作為載體的材料主要包括AL2O3鐵釩、石棉、粘土、活性炭、金屬等，最常用的是陶瓷載體一般制成網、球、柱、峰巢。此外，近年來還有更多和成功的絲光沸石。對于催化燃燒，未來研究的重點和熱點仍將是探索高效、高活性的催化劑及其載體、催化氧化機制。